Terminologia comune del vuoto 10

1. Pompa di manutenzione: nel sistema del vuoto, il volume d'aria è molto piccolo e la pompa anteriore non può essere utilizzata in modo efficace. A tale scopo, una piccola pompa ausiliaria è dotata di una piccola pompa ausiliaria per la manutenzione della pompa principale, che prende il nome di pompa di manutenzione. Se una piccola pompa rotativa a palette è installata all'uscita della pompa di diffusione, è la pompa di manutenzione. Cina Macchina per rivestimento PVD Fornitori
2. rivestimento sottovuoto: un metodo per preparare un film su un substrato sottovuoto.
3.Substrato: accettore di membrana.
4.substrato di prova：Substrato utilizzato per la misurazione e/o il test all'inizio, durante o dopo il rivestimento.
5. materiale di rivestimento: materie prime utilizzate per realizzare film.
6. materiale di spruzzatura: materiale di rivestimento utilizzato per la spruzzatura nello sputtering sottovuoto.
7. materiale del film: i materiali che compongono il film.
8. velocità di spruzzatura: in un dato intervallo di tempo, la quantità di materiale spruzzato è divisa per l'intervallo di tempo.
9. tasso di deposizione: in un dato intervallo di tempo, la quantità di materiale depositato sul substrato è divisa per l'intervallo di tempo e la superficie del substrato.