1. Camera a vuoto
apparecchiature di rivestimento ha principalmente due forme: linea di produzione di rivestimento continua e macchina di rivestimento a camera singola, produzione di materiale in acciaio inossidabile, saldatura ad arco di argon, trattamento di lucidatura chimica della superficie e varie specifiche delle interfacce della flangia sono saldate sui componenti della camera a vuoto.
2, parte di acquisizione del vuoto
Nella tecnologia del vuoto, la parte di acquisizione del vuoto è una parte importante. L'acquisizione del vuoto non può essere ottenuta con un'unica attrezzatura e metodo per il vuoto. È necessario utilizzare più pompe in combinazione, come pompe meccaniche, pompe Roots, sistemi di pompe molecolari, ecc.
3, parte di misurazione del vuoto
La parte di misurazione del vuoto del sistema del vuoto consiste nel misurare la pressione nella camera del vuoto. Come una pompa per vuoto, nessun vacuometro può misurare l'intera gamma di vuoto, quindi le persone hanno realizzato molti tipi di vacuometri in base a principi e requisiti diversi. Come misuratore di termocoppie, misuratore di ionizzazione, misuratore Pirani, ecc.
4. Parte di alimentazione
L'alimentazione target include principalmente alimentazione CC, alimentazione a frequenza intermedia, alimentazione a impulsi e alimentazione a radiofrequenza (RF). I produttori di alimentatori comuni includono AE, ADL, Hottinger, ecc.
5. Sistema di immissione del gas di processo
I gas di processo, come argon (Ar), krypton (Kr), azoto (N2), acetilene (C2H2), metano (CH4), idrogeno (H2), ossigeno (O2), ecc., sono generalmente forniti da bombole di gas. Valvola di riduzione della pressione del gas, valvola di arresto del gas, conduttura, flussometro del gas, elettrovalvola, valvola piezoelettrica e quindi nella camera a vuoto. Il vantaggio di questo sistema di immissione del gas è che la tubazione è semplice e chiara ed è facile riparare o sostituire la bombola del gas. Le macchine di rivestimento non si influenzano a vicenda. Ci sono anche casi in cui più macchine di rivestimento condividono una serie di bombole di gas. Questa situazione può essere vista in alcune officine di rivestimento su larga scala. Il suo vantaggio è che riduce l'occupazione delle bombole del gas, la pianificazione unificata e la disposizione unificata. Lo svantaggio è che a causa dell'aumento del numero di giunti, aumenta la possibilità di perdite d'aria. Inoltre, le macchine di rivestimento interferiranno tra loro e la tubazione di una macchina di rivestimento potrebbe perdere aria, il che potrebbe influire sulla qualità del prodotto di altre macchine di rivestimento. Inoltre, quando si sostituiscono le bombole del gas, è necessario assicurarsi che tutte le macchine siano in uno stato non a gas.
6. Parte di trasmissione meccanica
Il rivestimento richiede che lo spessore della periferia sia uniforme. Pertanto, per soddisfare i requisiti devono essere eseguite tre rotazioni nel processo di rivestimento. Cioè, mentre è necessario che il grande tavolo portapezzo ruoti (I), anche il portapezzo piccolo ruota (II) e il pezzo stesso può ruotare contemporaneamente (III). Nella progettazione meccanica, c'è generalmente un grande ingranaggio di trasmissione al centro della parte inferiore del grande piatto girevole del pezzo e alcune piccole ruote a stella si incastrano con esso. Se il prodotto deve essere ruotato, il pezzo viene generalmente ruotato da una forcella del cambio.
7, parte di misurazione del riscaldamento e della temperatura
Le apparecchiature di rivestimento hanno generalmente riscaldatori in diverse posizioni e le termocoppie vengono utilizzate per misurare e controllare la temperatura. Tuttavia, poiché la posizione di bloccaggio della termocoppia è diversa dalla posizione del pezzo, la lettura della temperatura non può essere la temperatura reale del pezzo. Per misurare la vera temperatura del pezzo, ci sono molti metodi, è possibile installare carta di prova ad alta temperatura o misuratore di termocoppia sul pezzo.
8. Evaporazione ionica e sorgente di sputtering
La fonte di evaporazione della placcatura multiarco è generalmente sotto forma di una torta rotonda, comunemente nota come bersaglio della torta rotonda, e ci sono anche obiettivi multiarco rettangolari. Un magnete è installato nella base del bersaglio. Muovendo il magnete avanti e indietro, l'intensità del campo magnetico viene modificata e la velocità di movimento e la traiettoria del punto dell'arco possono essere regolate. Per ridurre la temperatura del target e della base target, la base target deve essere continuamente alimentata con acqua di raffreddamento. Per garantire un'elevata conduttività elettrica e termica tra il bersaglio e la base del bersaglio, è possibile aggiungere anche una guarnizione di stagno tra il bersaglio e la base del bersaglio. Il rivestimento per sputtering Magnetron utilizza generalmente catodi per sputtering rettangolari o cilindrici.
9, sistema di raffreddamento ad acqua
generalmente consiste in una torre dell'acqua fredda, una macchina per l'acqua ghiacciata, una pompa dell'acqua, ecc.
10, sistema di controllo industriale
spagnolo
portoghese