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Qual è il ruolo dell'argon nella macchina di rivestimento PVD?

Update:20-05-2021
Summary: AR 2 è un gas inerte (simile a elio, neon, xeno... appartengono tutti al gas inerte). In PVD (Phy...

AR 2 è un gas inerte (simile a elio, neon, xeno... appartengono tutti al gas inerte). In PVD (Physical Vapor Deposition), viene utilizzato come gas di lavoro e la sua funzione principale è utilizzare Glow in PVD (pulizia), gas di lavoro durante il deposito di film, ecc. Poiché è un gas della famiglia degli inerti, la sua attività non è forte come altri gas (come acetilene, metano, azoto, ossigeno); nella produzione, l'uso dell'argon come gas di lavoro è dovuto principalmente a considerazioni economiche e il costo è relativo ad altri gas inerti. È il più economico, seguito dall'elio (in PVD o sottovuoto), che viene utilizzato per il rilevamento delle perdite.

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