Pulizia delle fasi del pezzo prima del rivestimento nella macchina del rivestimento a vuoto

Al fine di migliorare l'adesione e la levigatezza del film placcato sulla superficie del substrato, nonché la compattezza del film, prima che il substrato venga appeso nella macchina del rivestimento a vuoto, è necessario eseguire una fase di pulizia preliminare per rimuovere le macchie di olio, le macchie di olio, la polvere, per assicurarsi che sia in uno stato pulito e poi rivestimento.

1. Pulizia del riscaldamento a vuoto

Il pezzo viene riscaldato a pressione normale o sotto vuoto. Promuovere l'evaporazione di impurità volatili in superficie per raggiungere lo scopo della pulizia. L'effetto di pulizia di questo metodo è correlato alla pressione ambientale del pezzo, alla lunghezza del tempo di ritenzione nel vuoto, alla temperatura di riscaldamento, al tipo di contaminanti e al materiale del pezzo. Il principio è riscaldare il pezzo. Promuovere il desorbimento migliorato di molecole d'acqua e varie molecole di idrocarburi adsorbite sulla sua superficie. Il grado di miglioramento del desorbimento dipende dalla temperatura. Sotto il vuoto ultra-alto, al fine di ottenere superfici atomicamente pulite, la temperatura di riscaldamento deve essere superiore a 450 gradi. Il metodo di pulizia del riscaldamento è particolarmente efficace. Ma a volte questo approccio può anche avere effetti collaterali. Come risultato del riscaldamento, può verificarsi che alcuni idrocarburi si aggregano in agglomerati più grEi e allo stesso tempo si decompongono nei residui di carbonio

2. Pulizia dell'irradiazione ultravioletta

Utilizza le radiazioni UV per decomporre gli idrocarburi sulla superficie. Ad esempio, l'esposizione all'aria per 15 ore produce una superficie di vetro pulita. Se le superfici correttamente pre-pulite vengono posizionate in una sorgente UV che genera ozono. Una superficie pulita può essere creata in pochi minuti (processo pulito). Ciò indica che la presenza di ozono aumenta la velocità di pulizia. Il meccanismo di pulizia è: sotto l'irradiazione ultravioletta, le molecole di terra sono eccitate e dissociate e la generazione e l'esistenza di ozono producono ossigeno atomico altamente attivo. Molecole di sporco eccitate e radicali liberi generati dalla dissociazione di sporcizia interagiscono con l'ossigeno atomico. Si formano molecole più semplici e più volatili. Come H2O3, CO2 e N2. La velocità di reazione aumenta con l'aumentare della temperatura.

3. Pulizia di scarico

Questo metodo di pulizia è ampiamente utilizzato nella pulizia e nella degasazione di sistemi di vuoto alti e alti alti. Soprattutto utilizzato nelle macchine per rivestimento a vuoto. Un filo o un elettrodo caldo viene utilizzato come sorgente elettronica. L'applicazione di una distorsione negativa sulla superficie da pulire può raggiungere il desorbimento del gas mediante bombardamento ionico e la rimozione di alcuni idrocarburi. L'effetto di pulizia dipende dal materiale dell'elettrodo, dalla geometria e dalla sua relazione con la superficie. Cioè, dipende dal numero di ioni e dall'energia ionica per unità di superficie. In tal modo dipende dall'energia elettrica disponibile. La camera del vuoto è riempita con un gas inerte (in genere gas AR) a una pressione parziale appropriata. La pulizia può essere ottenuta mediante bombardamento da ioni mediante scarico bagliore a bassa tensione tra due elettrodi adatti. in questo metodo. Il gas inerte viene ionizzato e bombarda la parete interna della camera del vuoto, altre parti strutturali nella camera del vuoto e il substrato da essere placcati, il che può rendere esenti da alcuni sistemi a vuoto dalla cottura ad alta temperatura. I risultati di pulizia migliori per alcuni idrocarburi possono essere ottenuti se l'ossigeno viene aggiunto al gas carico. Perché l'ossigeno può ossidare alcuni idrocarburi per formare gas volatili che vengono facilmente rimossi dal sistema a vuoto. I principali componenti delle impurità sulla superficie del vuoto alto in acciaio inossidabile e dei vasi a vuoto ultra-alti sono carbonio e idrocarburi. In generale, il carbonio in esso non può essere volatilizzato da solo. Dopo la pulizia chimica, è necessario introdurre gas misto AR o AR O2 per la pulizia della scarica luminosa, in modo che vengano rimosse impurità sulla superficie e i gas legati alla superficie a causa dell'azione chimica. Nella pulizia di scarico luminoso. I parametri importanti sono il tipo di tensione applicata (AC o DC), l'entità della tensione di scarico, la densità di corrente, il tipo di gas caricato e la pressione. La durata del bombardamento. La forma degli elettrodi e il materiale e la posizione delle parti da pulire, ecc.

4. Flushing a gas

(1) lavaggio dell'azoto

Quando l'azoto viene adsorbito sulla superficie del materiale, a causa della piccola energia di adsorbimento, il tempo di ritenzione superficiale è breve. Anche se è adsorbito sul muro del dispositivo, è facile essere pompato. L'uso di questa proprietà di azoto per scaricare il sistema a vuoto può abbreviare notevolmente il tempo di pompaggio del sistema. Ad esempio, prima che la macchina del rivestimento sottovuoto venga inserito nell'atmosfera, riempire la camera del vuoto con azoto secco per scaricarlo e quindi riempirla nell'atmosfera, il tempo di pompaggio del ciclo di pompaggio successivo può essere ridotto di quasi la metà, i molecogeni da logo muro della camera. Poiché il sito di adsorbimento è fissato, viene riempito prima di molecole di azoto e ci sono pochissime molecole d'acqua adsorbite, accorciando così il tempo di pompaggio. Se il sistema è inquinato dallo spruzzo d'olio della pompa di diffusione, il metodo di lavaggio dell'azoto può anche essere utilizzato per pulire il sistema inquinato. In generale, mentre cottura e riscaldamento del sistema, scaricare il sistema con gas azoto può eliminare l'inquinamento dell'olio.

(2) lavaggio del gas reattivo

Questo metodo è particolarmente adatto per il lavaggio interno (rimozione della contaminazione da idrocarburi) di grandi rivestimenti a vuoto in acciaio inossidabile ultra-alta. Di solito, per le camere a vuoto e i componenti a vuoto di alcuni grandi sistemi a vuoto ultra-alti, al fine di ottenere superfici atomicamente pulite, i metodi standard per eliminare la contaminazione superficiale sono la pulizia chimica, la torrefazione del forno a vuoto, la pulizia della scarica luminosa e i sistemi di aspirazione originale di arrosti di energia originale e altri metodi. I metodi di pulizia e degasaggio sopra descritti sono comunemente usati prima e durante l'assemblaggio di un sistema a vuoto. Dopo aver installato il sistema di vuoto (o dopo che il sistema è in funzione), poiché i vari componenti nel sistema a vuoto sono stati fissati, è difficile degustare i vari componenti nel sistema a vuoto. Una volta che il sistema è (accidentalmente) contaminato (principalmente numeri atomici) molecole come la contaminazione da idrocarburi) vengono generalmente smantellate e rielaborate prima dell'installazione. Con il processo di gas reattivo, è possibile eseguire degassing online in situ. Rimuovere effettivamente l'inquinamento degli idrocarburi nella camera del vuoto in acciaio inossidabile. Il suo meccanismo di pulizia: nel sistema, ossidando il gas (O2, N0) e la riduzione del gas (H2, N H3) sono citate nel sistema per eseguire la pulizia di reazioni chimiche sulla superficie del metallo per eliminare l'inquinamento, al fine di ottenere superfici metalliche atomicamente pulite. Il tasso di ossidazione/riduzione della superficie dipende dalla contaminazione e dal materiale della superficie del metallo. La velocità di reazione superficiale è controllata regolando la pressione e la temperatura del gas di reazione. Per ciascun substrato, i parametri precisi vengono determinati sperimentalmente. Questi parametri sono diversi per diversi orientamenti cristallografici.

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