Qual è il principio di lavoro della placcatura a ioni ad arco catodico?

Prima di tutto, l'ago che colpisce l'arco (anodo) con potenziale positivo è vicino al bersaglio (catodo) con potenziale negativo. Quando la distanza tra l'anodo e il catodo è abbastanza piccola, il gas tra i due elettrodi verrà scomposto, formando una corrente ad arco, che è simile al colpo di arco della saldatura elettrica. Al momento, parte di N2 viene ionizzata per formare cationi ed elettroni azotati.

Attratto dalla forza del campo elettrico, il catione di azoto volerà sul catodo vicino al bersaglio e l'elettrone volerà nell'ago di accensione dell'arco. Tuttavia, la massa dello ione è molto maggiore di quella dell'elettrone. Pertanto, sotto la stessa forza di campo elettrico, la distanza di movimento dell'elettrone sarà maggiore di quella del catione. Pertanto, quando l'elettrone raggiunge l'anodo, lo ione non raggiungerà il bersaglio del catodo, ma volerà nell'ago di accensione ad arco, si forma lo strato di accumulo di ioni positivo vicino alla superficie bersaglio.

La distanza tra il catione e la superficie bersaglio del catodo è molto piccola, fino a livello di micron. Secondo E = U / D, si può vedere che il campo elettrico nello spazio è alto in questo momento, il che "estraggerà" gli elettroni dal bersaglio. Gli elettroni "tirati" volano dal bersaglio del catodo allo strato di accumulo di ioni positivi, formando una corrente. Lo strato di impilamento è collegato alla superficie target e un arco viene generato vicino alla superficie target.

Allo stesso tempo, gli ioni positivi saranno attratti dalla superficie bersaglio del catodo, che fa bombardare gli ioni positivi la superficie bersaglio e produrre sputtering. Man mano che le particelle del film evaporano o sputate devono passare attraverso lo strato di accumulo di ioni positivo e, nel processo di volare fuori dalla superficie bersaglio del catodo, le particelle del film saranno influenzate dall'arco sulla superficie bersaglio, quindi le particelle che arrivano al pezzo sono lo stato ionico.

La tensione di bias negativa viene solitamente applicata al pezzo, quindi gli ioni positivi volano sul pezzo sotto l'azione della forza di campo elettrico e bombardano il pezzo Produttori di macchine per rivestimento DLC . Questo bombardamento migliorerà l'adesione del film e renderà denso l'attrito, il che è molto utile per migliorare la qualità del film.

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