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Metalli come substrati: I metalli sono i substrati più comuni e compatibili per Macchina per rivestimento PVD grazie alla loro elevata conduttività termica, integrità strutturale e capacità di resistere alle condizioni di vuoto e plasma all'interno della macchina. Le leghe a base di acciaio inossidabile, titanio, alluminio, rame e nichel sono ampiamente utilizzate in applicazioni industriali, decorative e di utensili perché mantengono la stabilità dimensionale alle alte temperature e non rilasciano gas in modo significativo sotto vuoto. Questi metalli forniscono inoltre un'adesione eccellente per un'ampia gamma di materiali di rivestimento come TiN, CrN o DLC. Il pretrattamento, compreso lo sgrassaggio, la lucidatura o la pulizia al plasma, è essenziale per rimuovere i contaminanti, migliorare l'energia superficiale e garantire uno spessore uniforme del rivestimento. Evitare metalli con elevata volatilità o superfici reattive previene la contaminazione della camera e mantiene la qualità del rivestimento.
Leghe metalliche come substrati: Le leghe metalliche specializzate, inclusi gli acciai per utensili, le leghe di cobalto-cromo e le superleghe, sono adatte per i rivestimenti PVD se hanno punti di fusione elevati, stabilità termica e proprietà di basso degassamento. Queste leghe sono comunemente utilizzate negli utensili da taglio, nei componenti aerospaziali, negli impianti medici e nelle superfici ad alta usura. Un'adeguata preparazione della superficie, come sabbiatura, attacco chimico o pulizia ionica, migliora l'adesione e garantisce una deposizione uniforme, in particolare per geometrie complesse. Le leghe soggette a ossidazione o contaminazione superficiale possono richiedere ulteriori trattamenti di prerivestimento per evitare problemi di adesione o delaminazione del rivestimento. La scelta di una lega con caratteristiche di espansione termica compatibili rispetto al materiale di rivestimento riduce la formazione di stress durante il processo di deposizione e garantisce una durabilità a lungo termine sia del rivestimento che del substrato.
La ceramica come substrato: Ceramiche come l'allumina (Al₂O₃), la zirconia (ZrO₂), il carburo di silicio (SiC) e il carburo di boro possono fungere da efficaci substrati PVD per applicazioni ad alta temperatura o resistenti all'usura. Questi materiali sono chimicamente stabili e mantengono l'integrità dimensionale sotto plasma ad alta energia, ma spesso richiedono l'attivazione o l'irruvidimento della superficie per migliorare l'adesione del rivestimento. L'attacco al plasma, il bombardamento ionico o il microirruvidimento sono comunemente utilizzati per migliorare l'incastro meccanico tra la superficie ceramica e lo strato depositato. La ceramica è ideale per applicazioni quali utensili da taglio, rivestimenti resistenti all'usura e strati di barriera termica. Tuttavia, a causa della loro natura fragile, è necessario prestare attenzione durante la manipolazione e la lavorazione per evitare fessurazioni, che potrebbero compromettere l'uniformità e le prestazioni del rivestimento.
Polimeri ingegnerizzati come substrati: Alcuni polimeri ad alte prestazioni, tra cui poliimmide (PI), PEEK e compositi in policarbonato, possono essere rivestiti in una macchina di rivestimento PVD se la temperatura di deposizione viene attentamente controllata per evitare ammorbidimento o deformazione. Questi polimeri consentono l'aggiunta di rivestimenti funzionali per applicazioni decorative, protettive o barriera. Il pretrattamento è fondamentale per i substrati polimerici e spesso comporta l'attivazione del plasma o la modifica chimica della superficie per aumentare l'energia superficiale e l'adesione. I polimeri di rivestimento richiedono tecniche di deposizione a energia inferiore e parametri di processo come la polarizzazione del substrato, la velocità di deposizione e il livello di vuoto devono essere ottimizzati per prevenire stress termico o deformazione. Le plastiche a basse prestazioni o i polimeri carichi di umidità sono generalmente incompatibili a causa del degassamento o della deformazione in condizioni di vuoto e temperatura elevati.
Importanza della preparazione del substrato: Indipendentemente dal tipo di substrato, una preparazione adeguata è essenziale per ottenere rivestimenti di alta qualità. Le superfici del supporto devono essere pulite per rimuovere oli, grassi, ossidi e particelle di polvere che possono interferire con l'adesione e causare difetti nel rivestimento. A seconda del materiale del substrato, vengono comunemente utilizzati la pulizia al plasma, il bombardamento ionico, la pulizia a ultrasuoni o l'attacco chimico. La rugosità superficiale, nell'intervallo da pochi nanometri a micrometri a seconda del rivestimento e dell'applicazione, influenza direttamente l'incastro meccanico e l'adesione. Un pretrattamento adeguato previene la delaminazione del rivestimento, riduce fori o vuoti e garantisce una deposizione uniforme su superfici piane o complesse, il che è fondamentale per mantenere le prestazioni funzionali dei rivestimenti PVD.
Compatibilità termica e meccanica: Il substrato deve essere termicamente e meccanicamente compatibile sia con il processo PVD che con il materiale di rivestimento. Le differenze nei coefficienti di dilatazione termica tra il substrato e il rivestimento possono portare ad accumulo di stress, fessurazioni o delaminazione durante la deposizione o in servizio. I metalli e la ceramica generalmente tollerano bene gli stress termici, mentre i polimeri richiedono un’attenta gestione della temperatura. I substrati devono anche essere meccanicamente robusti per resistere alla manipolazione, alla rotazione o alle vibrazioni durante la deposizione. La scelta di un substrato con espansione termica, durezza ed energia superficiale adeguate garantisce che il rivestimento aderisca correttamente, mantenga le prestazioni funzionali e non provochi danni alla macchina PVD.
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