Quali sono i componenti principali di un sistema di rivestimento a vuoto?

1. Camera a vuoto

Attrezzatura di rivestimento Ha principalmente due forme: linea di produzione di rivestimento continuo e macchina per rivestimento a singolo camere, produzione di materiale in acciaio inossidabile, saldatura ad arco di argon, trattamento di lucidatura chimica di superficie e varie specifiche delle interfacce della flangia sono saldati sui componenti della camera a vuoto.

2, parte di acquisizione del vuoto

Nella tecnologia del vuoto, la parte di acquisizione del vuoto è una parte importante. L'acquisizione del vuoto non può essere raggiunta da una singola attrezzatura e metodo. Diverse pompe devono essere utilizzate in combinazione, come pompe meccaniche, pompe per radici, sistemi di pompe molecolari, ecc.

3, parte di misurazione del vuoto

La parte di misurazione del vuoto del sistema a vuoto è di misurare la pressione nella camera del vuoto. Come una pompa a vuoto, nessun manometro a vuoto può misurare l'intera gamma di vuoto, quindi le persone hanno realizzato molti tipi di manometri in base a diversi principi e requisiti. Come contatore per termocoppia, contatore di ionizzazione, contatore pirani, ecc.

4. Parte di alimentazione

L'alimentazione target include principalmente l'alimentazione DC, l'alimentazione a frequenza intermedia, l'alimentazione a impulsi e l'alimentazione a radiofrequenza (RF). I produttori di alimentazione comuni includono AE, ADL, Hottinger, ecc.

5. Sistema di input del gas di processo

I gas di processo, come Argon (AR), Krypton (KR), azoto (N2), acetilene (C2H2), metano (CH4), idrogeno (H2), ossigeno (O2), ecc., Sono generalmente forniti dai cilindri di gas. Valvola di riduzione della pressione del gas, valvola di arresto del gas, tubazioni, misuratore di flusso di gas, valvola del solenoide, valvola piezoelettrica e quindi nella camera del vuoto. Il vantaggio di questo sistema di ingresso del gas è che la conduttura è semplice e chiara ed è facile da riparare o sostituire il cilindro del gas. Le macchine per rivestimento non si influenzano a vicenda. Ci sono anche casi in cui più macchine per rivestimento condividono una serie di cilindri di gas. Questa situazione può essere vista in alcuni seminari di rivestimento su larga scala. Il suo vantaggio è che riduce l'occupazione di cilindri di gas, pianificazione unificata e layout unificato. Lo svantaggio è che a causa dell'aumento del numero di articolazioni, la possibilità di perdite d'aria aumenta. Inoltre, le macchine per il rivestimento interferiranno tra loro e la pipeline di una macchina per rivestimento può far perdere l'aria, il che può influire sulla qualità del prodotto di altre macchine per rivestimento. Inoltre, quando si sostituiscono i cilindri di gas, è necessario garantire che tutte le macchine siano in uno stato non GAS.

6. Parte di trasmissione meccanica

Il rivestimento richiede che lo spessore della periferia debba essere uniforme. Pertanto, ci devono essere tre rotazioni nel processo di rivestimento per soddisfare i requisiti. Cioè, mentre è necessario il tavolo da lavoro di grandi dimensioni per ruotare (i), anche il piccolo portatore di lavoro ruota (II) e il pezzo stesso può ruotare contemporaneamente (III). Nel design meccanico, c'è generalmente un ampio ingranaggio al centro della parte inferiore del grande giradischi di lavoro e alcune ruote a stelle piccole si mesh. Se il prodotto deve essere ruotato, il pezzo viene generalmente ruotato da una forchetta.

7, parte di misurazione del riscaldamento e della temperatura

Le apparecchiature di rivestimento hanno generalmente riscaldatori in diverse posizioni e le termocoppie vengono utilizzate per misurare e controllare la temperatura. Tuttavia, poiché la posizione di serraggio della termocoppia è diversa dalla posizione del pezzo, la lettura della temperatura non può essere la vera temperatura del pezzo. Per misurare la vera temperatura del pezzo, ci sono molti metodi, è possibile installare la carta di prova ad alta temperatura o il misuratore di termocoppia sul pezzo.

8. Evaporazione di ioni e fonte di sputtering

La fonte di evaporazione della placcatura multi-arco è generalmente a forma di una torta rotonda, comunemente nota come bersaglio della torta rotonda, e ci sono anche bersagli multi-arco rettangolari. Un magnete è installato nella base di destinazione. Spostando il magnete avanti e indietro, l'intensità del campo magnetico viene modificata e la velocità di movimento e la traiettoria del punto dell'arco possono essere regolate. Al fine di ridurre la temperatura del bersaglio e della base target, la base target deve essere continuamente fornita con acqua di raffreddamento. Al fine di garantire un'elevata conduttività elettrica e termica tra il bersaglio e la base target, è possibile aggiungere anche una guarnizione di stagno tra il bersaglio e la base target. Il rivestimento di sputtering magnetron utilizza generalmente catodi rettangolari o cilindrici.

9, sistema di raffreddamento ad acqua

In generale è costituito da torre d'acqua fredda, macchina per l'acqua ghiacciata, pompa dell'acqua, ecc.

10, Sistema di controllo industriale