Metodi comuni di rilevamento delle perdite sotto vuoto

Rilevamento delle perdite mediante spettrometria di massa elio

Questa tecnologia è una tecnologia indispensabile nel campo del rilevamento delle perdite sotto vuoto. È ampiamente utilizzato nel rilevamento delle perdite a causa della sua alta efficienza di rilevamento delle perdite, un semplice funzionamento, risposta allo strumento sensibile, alta precisione e non Fornitori di sistemi di rivestimento PVD China facilmente interferito da altri gas. Il rilevatore di perdite dello spettrometro di massa elio è una sorta di strumento di rilevamento della tenuta del gas in base al principio di spettrometria di massa, che utilizza l'elio come gas indicatore di perdite. È composto da una sorgente ionica, un analizzatore, un collettore, un indicatore di ionizzazione a catodo freddo, una camera di spettrometria di massa, un sistema di scarico e una parte elettrica. Gli elettroni emessi dal filamento nella camera di spettrometria di massa oscillano avanti e indietro nella stanza e si scontrano con il gas interno e l'elio che entrano nella stanza attraverso il foro che perdono per ionizzare in ioni positivi. Questi ioni elio entrano nel campo magnetico sotto il cervello sinistro e destro del campo elettrico accelerato e si deviano a causa dell'azione della forza di Lorentz, formando un'orbita arco circolare e cambiando il campo elettrico accelerato. La pressione consente di rilevare ioni di massa diversa raggiungendo il polo ricevente attraverso campi magnetici e le fessure riceventi. Metodo di iniezione di elio e metodo di assorbimento dell'elio sono i due metodi comunemente usati nel rilevamento delle perdite dello spettrometro di massa elio.