Metodi comuni di rilevamento delle perdite di vuoto

Rilevamento di perdite mediante spettrometria di massa dell'elio

Questa tecnologia è una tecnologia indispensabile nel campo del rilevamento delle perdite di vuoto. È ampiamente utilizzato nel rilevamento delle perdite grazie alla sua elevata efficienza di rilevamento delle perdite, facilità d'uso, risposta sensibile dello strumento, alta precisione e non Fornitori di sistemi di rivestimento PVD in Cina facilmente interferito da altri gas. Il rilevatore di perdite dello spettrometro di massa dell'elio è una sorta di strumento di rilevamento della tenuta del gas basato sul principio della spettrometria di massa, che utilizza l'elio come gas indicatore di perdita. È composto da una sorgente di ionizzazione, un analizzatore, un collettore, un misuratore di ionizzazione a catodo freddo, una camera di spettrometria di massa, un sistema di scarico e una parte elettrica. Gli elettroni emessi dal filamento nella camera della spettrometria di massa oscillano avanti e indietro nella stanza e si scontrano con il gas interno e l'elio che entrano nella stanza attraverso il foro che perde per ionizzare in ioni positivi. Questi ioni di elio entrano nel campo magnetico sotto il cervello sinistro e destro del campo elettrico accelerato e si deviano a causa dell'azione della forza di Lorentz, formando un'orbita ad arco circolare e modificando il campo elettrico accelerato. La pressione consente di rilevare ioni di massa diversa raggiungendo il polo ricevente attraverso campi magnetici e fessure di ricezione. Il metodo di iniezione dell'elio e il metodo di assorbimento dell'elio sono i due metodi più comunemente usati nel rilevamento delle perdite dello spettrometro di massa dell'elio.