Terminologia del vuoto comune 10

1. Pompa di manutenzione: nel sistema a vuoto, il volume dell'aria è molto piccolo e la pompa anteriore non può essere utilizzata in modo efficace. A tale scopo, una piccola pompa ausiliaria è attrezzata per mantenere la pompa principale, che è chiamata pompa di manutenzione. Se viene installata una piccola pompa a pale rotante all'uscita della pompa di diffusione, è la pompa di manutenzione. Fornitori di macchine per rivestimento PVD China
2. Veste per vacum ： Un metodo per preparare un film su un substrato nel vuoto.
3.Substrate ： Accettore di membrana.
4.Strate di test ： Substrato utilizzato per la misurazione e/o test all'inizio, durante o dopo il rivestimento.
5. Materiale di rivestimento ： Materie prime utilizzate per realizzare film.
6. Materiale da sputtering ： Materiale di rivestimento utilizzato per lo sputtering nello sputtering sotto vuoto.
7.Film Materiale ： Materiali che compongono il film.
8. Tasso di interruzione ： In un determinato intervallo di tempo, la quantità di materiale sputata è divisa per l'intervallo di tempo.
9. Tasso di deposizione ： In un determinato intervallo di tempo, la quantità di materiale depositato sul substrato è divisa per l'intervallo di tempo e la superficie del substrato.