Esistono due tipi di differenze di colore della pellicola (escluse le macchie). Uno è che i colori della pellicola superiore, centrale e inferiore dell'intera maschera sono incoerenti, ovvero le curve del test spettroscopico sono diverse; la seconda è che il colore della singola pellicola è inconsistente.
1. L'incoerenza dei colori del film superiore, medio e inferiore è chiamata scarsa uniformità dell'intero ombrello (coperchio), chiamata anche differenza dell'ombrello. Il motivo principale è che c'è un problema con la tavola di correzione dell'uniformità (tavola di correzione).
2. I pezzi dell'ombrello sono deformati. È anche uno dei motivi del colore della pellicola non uniforme, in particolare i pezzi dell'ombrello che sono stati utilizzati per molto tempo, che erano uniformi, ma gradualmente diventano irregolari e la deformazione dei pezzi dell'ombrello può essere il motivo principale.
3. L'incoerenza del materiale del film, in particolare il materiale del film di sublimazione e semi-sublimazione è deviato, scaveo, ecc. Influirà seriamente anche sull'uniformità dell'intera copertina e del singolo chip. Soprattutto quando c'è una grande quantità di pre-fusione manuale, i metodi operativi di ogni persona sono diversi e anche le condizioni del materiale ottenute saranno diverse.
Idee di miglioramento: utilizzare appieno la funzione della scheda di correzione.
Migliora la strategia:
Regolare la piastra di correzione, provare a considerare l'equilibrio e la compatibilità dei materiali del film con indice di rifrazione alto e basso. Se sono presenti due sorgenti di evaporazione, utilizzare le proprie piastre di correzione indipendentemente, se possibile, per evitare interferenze.
Condizioni consentite, utilizzo di apparecchi planetari.
Modellatura dell'ombrello, puoi prima elaborare uno stampo di base R (scegli materie prime ad alta resistenza) per modellare il pezzo dell'ombrello sullo stampo di base. Al fine di prevenire la deformazione dei pezzi dell'ombrello, lo spessore e le materie prime dei pezzi dell'ombrello devono essere selezionati in modo appropriato al momento dell'ordine dei pezzi dell'ombrello.
Rafforzare la gestione dei pezzi dell'ombrello, in particolare la gestione durante il posizionamento, per evitare deformazioni dovute a un posizionamento improprio.
Migliorare le condizioni del materiale del film, specialmente quando il cannone elettronico fa evaporare i materiali di sublimazione e semi-sublimazione, il materiale del film non può essere collassato e non sono ammessi pozzi.
Il materiale del film che può essere prefuso automaticamente dovrebbe essere prefuso automaticamente il più possibile per ridurre l'influenza dei fattori umani.
La piastra di correzione è molto efficace nel correggere lo spessore del film fisico, ma non è in grado di correggere l'indice di rifrazione. Pertanto, è molto difficile affidarsi completamente alla piastra di correzione per risolvere l'uniformità spettrale.
Se una scheda di correzione deve corrispondere a due cannoni elettronici (sorgenti di evaporazione) e una varietà di materiali in pellicola, ci saranno maggiori difficoltà.
Le ragioni del colore non uniforme del singolo film:
È principalmente dovuto alla grave irregolarità del substrato, che è molto diversa dalla curvatura dell'ombrello, e l'angolo di evaporazione formato dalla linea normale superiore o inferiore del substrato e dalla fonte di evaporazione è abbastanza diverso. Ciò si traduce in una grande differenza nelle condizioni per ricevere il materiale della pellicola su ciascuna parte di una lente e una grande differenza nello spessore della pellicola formata.
Inoltre, l'obiettivo è bloccato dal bordo dell'anello dell'obiettivo (disco), l'anello dell'obiettivo (disco) è sporco e contamina l'obiettivo durante l'evaporazione, ecc., il che può anche causare differenze di colore della pellicola.
Idee di miglioramento: migliorare l'angolo di evaporazione del bordo dell'obiettivo.
Migliora la strategia:
Condizioni consentite, utilizzare apparecchi planetari;
Scegli una macchina con ombrello piatto (R grande);
In base alla distribuzione dei fori dell'ombrello e alla forma del supporto, viene realizzata una speciale tavola di correzione a zigzag.
Se possibile, anche lo spostamento della sorgente di evaporazione al centro della camera a vuoto può migliorare l'uniformità del colore del film monolitico.
Migliorare l'anello dell'obiettivo (disco) per evitare il blocco.
Si noti che la parte corrispondente del telaio dell'ombrello rotante blocca parzialmente la lente del bordo
Pulire l'anello dell'obiettivo (disco)
Migliorare l'evaporazione del materiale del film.
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