Come risolvere la non uniformità dei film spruzzati Magnetron?

In primo luogo, è necessario garantire l'uniformità e la direzione del campo magnetico per formare un campo magnetico spaziale relativamente uniforme.

In secondo luogo, dovrebbe essere garantita per quanto possibile l'uniformità della pressione dell'aria. Quando si progetta la camera a vuoto, la posizione di installazione della pompa a vuoto, il modo Fabbrica di macchine per rivestimento sottovuoto per evaporazione dell'aspirazione del gas di processo e la disposizione del tubo di processo nella camera.

In terzo luogo, poiché il campo magnetico e la pressione dell'aria non possono essere assolutamente ideali, il campo magnetico può essere compensato dalla non uniformità della pressione dell'aria per rendere uniforme la pellicola finale.

In quarto luogo, anche la distanza di base del bersaglio è un fattore importante che influisce sull'uniformità.