Come risolvere la non uniformità dei film sputati magnetron?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

, l'uniformità e la direzione del campo magnetico dovrebbero essere garantite per formare un campo magnetico di spazio relativamente uniforme.

In secondo luogo, l'uniformità della pressione dell'aria dovrebbe essere garantita il più possibile. Quando si progettano la camera del vuoto, la posizione di installazione della pompa del vuoto, la strada Fabbrica di macchine per rivestimento per aspirapolvere evaporazione Del processo devono essere considerati l'assunzione di gas e il layout del tubo di processo nella camera.

In terzo luogo, poiché il campo magnetico e la pressione dell'aria non possono essere assolutamente ideali, il campo magnetico può essere compensato dalla non uniformità della pressione dell'aria per rendere l'uniforme del film finale.

In quarto luogo, la distanza di base target è anche un fattore importante che colpisce l'uniformità.

Condividere: