Quali sono i passaggi per utilizzare la macchina di rivestimento sottovuoto?

Macchina di rivestimento sottovuoto si riferisce principalmente a un tipo di rivestimento che deve essere eseguito sotto un vuoto più elevato, inclusi molti tipi, tra cui l'evaporazione del riscaldamento della resistenza al vuoto, l'evaporazione del riscaldamento del cannone elettronico, lo sputtering del magnetron, l'epitassia del fascio molecolare MBE, la deposizione di sputtering laser PLD, ioni Ci sono molti tipi di sputtering del raggio. L'idea principale è divisa in due tipi di evaporazione e sputtering.

Funzionamento dell'armadio elettrico
1. Accendere la pompa dell'acqua e la fonte d'aria.
2. Accendere l'alimentazione principale.
3. Accendere l'alimentazione della pompa di manutenzione e del vacuometro, il vacuometro in posizione V1, attendere che il valore sia inferiore a 10, quindi accedere al passaggio successivo. Ci vogliono circa 5 minuti.
4. Accendere la pompa meccanica, la pre-pompa, accendere la pompa turbomolecolare e avviarla. L'interruttore del vacuometro viene portato in posizione V2. Ci vogliono circa 20 minuti per scendere a meno di 2.
5. Dopo aver osservato che la lettura della pompa turbomolecolare raggiunge 250, spegnere la pre-pompa, accendere la pompa di prevuoto e la valvola dell'alto vuoto per continuare a aspirare. Dopo che il vuoto ha raggiunto un certo livello, accendere il vacuometro a destra per osservare il vuoto. Solo dopo che il vuoto raggiunge 2×10-3 è possibile attivare l'alimentazione del cannone elettronico.

Operazione DEF-6B
1. Alimentazione totale.
2. Accendere contemporaneamente il controllo del cannone elettronico Ⅰ e il controllo del cannone elettronico Ⅱ: premere il controllo del cannone elettronico Ⅰ alimentazione, interruttore di ritardo, ritardo, alimentazione e spie di protezione sono accese. Dopo tre minuti le luci di ritardo e di protezione si spengono. Se lo sportello posteriore non è chiuso o il relè del flusso d'acqua presenta un guasto, la spia di protezione sarà sempre accesa.
3. Quando l'alta tensione è attivata, l'alta tensione raggiungerà più di 10 KV, la corrente del fascio può essere regolata a circa 200 mA, la griglia della tenda è 20 V/100 mA, la corrente del filamento è 1,2 A e la corrente di deflessione oscilla tra 1 e 1.7.

Sequenza di spegnimento
1. Spegnere il misuratore di alto vuoto e la pompa molecolare.
2. Quando il display della pompa molecolare raggiunge 50, spegnere a turno la valvola alta, lo stadio anteriore e la pompa meccanica. Questo periodo dura circa 40 minuti.
3. Quando è inferiore a 50, spegnere nuovamente la pompa di manutenzione.