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Macchina per rivestimento a vuoto Si riferisce principalmente a un tipo di rivestimento che deve essere effettuato sotto un vuoto più alto, tra cui molti tipi, tra cui l'evaporazione del riscaldamento della resistenza al vuoto, l'evaporazione del riscaldamento delle armi da elettrone, lo sputtering del magnetron, l'epitassia del raggio molecolare MBE, la deposizione di sputtering laser PLD, ioni, ci sono molti tipi di sputtering del raggio. L'idea principale è divisa in due tipi di evaporazione e sputtering.
Funzionamento dell'armadio di controllo elettrico
1. Accendere la pompa dell'acqua e la fonte d'aria.
2. Accendere l'alimentazione principale.
3. Accendere l'alimentazione della pompa di manutenzione e l'indicatore del vuoto, la posizione del manometro del vuoto V1, attendere che il valore sia inferiore a 10, quindi immetti il passaggio successivo. Ci vogliono circa 5 minuti.
4. Accendi la pompa meccanica, pre-pompa, accendi la potenza della pompa molecolare turbo e avviarla. L'interruttore a vuoto viene modificato nella posizione V2. Ci vogliono circa 20 minuti per pompare fino a meno di 2.
5. Dopo aver osservato che la lettura della pompa turbolecolare raggiunge i 250, spegnere la pre-pompa, accendi la pompa di supporto e l'alta valvola a vuoto per continuare a aspirare. Dopo che il vuoto raggiunge un certo livello, accendi l'alto manometro a destra per osservare il vuoto. Solo dopo che il vuoto raggiunge 2 × 10-3 può essere acceso l'alimentazione della pistola elettronica.
1. Accendere la pompa dell'acqua e la fonte d'aria.
2. Accendere l'alimentazione principale.
3. Accendere l'alimentazione della pompa di manutenzione e l'indicatore del vuoto, la posizione del manometro del vuoto V1, attendere che il valore sia inferiore a 10, quindi immetti il passaggio successivo. Ci vogliono circa 5 minuti.
4. Accendi la pompa meccanica, pre-pompa, accendi la potenza della pompa molecolare turbo e avviarla. L'interruttore a vuoto viene modificato nella posizione V2. Ci vogliono circa 20 minuti per pompare fino a meno di 2.
5. Dopo aver osservato che la lettura della pompa turbolecolare raggiunge i 250, spegnere la pre-pompa, accendi la pompa di supporto e l'alta valvola a vuoto per continuare a aspirare. Dopo che il vuoto raggiunge un certo livello, accendi l'alto manometro a destra per osservare il vuoto. Solo dopo che il vuoto raggiunge 2 × 10-3 può essere acceso l'alimentazione della pistola elettronica.
Funzionamento DEF-6B
1. Alimentazione totale.
2. Accendere il controllo delle pistole elettroniche ⅰ e il controllo delle pistole elettroni ⅱ Alimentazione contemporaneamente: premere il controllo delle pistole elettroniche ⅰ Alimentazione, interruttore di ritardo, ritardo, alimentazione e luci di protezione. Dopo tre minuti, i ritardi e le luci di protezione sono spenti. Se la porta sul retro non è chiusa o il relè del flusso d'acqua ha un guasto, la luce di protezione sarà sempre attiva.
3. Quando l'alta tensione è attivata, l'alta tensione raggiungerà più di 10kV, la corrente del raggio può essere regolata a circa 200 mA, la griglia della tenda è 20 V/100 mA, la corrente di filamento è 1,2A e la corrente di deflessione si oscilla tra 1 e 1,7.
Sequenza di arresto
1. Spegnere il contatore del vuoto alto e la pompa molecolare.
2. Quando il display della pompa molecolare raggiunge i 50, spegnere a turno la valvola alta, lo stadio anteriore e la pompa meccanica. Questo periodo richiede circa 40 minuti.
3. Quando è inferiore a 50, spegnere nuovamente la pompa di manutenzione.
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FAX: +86-574-62496601
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