Rivestimento di ioni ad arco DK

Rivestimento ionico ad arco

PVD-- Deposizione di vapore fisico
Una forma di deposizione di vapore fisico (rivestimento PVD) è il rivestimento di ioni. La storia del rivestimento PVD ha iniziato a utilizzare la tecnologia ARC, che ha la sua origine nella saldatura ad arco.

Obiettivi

Il metallo da evaporare è posizionato come blocco solido (bersaglio) contro l'interno di una camera di vuoto. Una scarica luminosa viene accesa e corre sul bersaglio, lasciando un'impronta. Piccoli punti di materiale target di pochi μm di diametro sono evaporati. Il movimento dell'arco può essere guidato dai magneti.

Rivestimento al plasma

Il materiale ionizzato evaporato viene utilizzato come rivestimento al plasma su un prodotto che ruota all'interno della camera del vuoto. I rivestimenti ARC vengono utilizzati come rivestimento per utensili e rivestimento componente.

Esempi di rivestimenti

Esempi di rivestimento ARC sono Tin, Aitin, Aicrn, Tisin, Ticn, CRCN e CRN

Vista schematica di un processo ARC PVD.

La tecnologia di rivestimento ARC:

Alti tassi di deposizione (1 ~ 3 μm/h) Ionizzazione elevata, con conseguente buona adesione e rivestimenti densi poiché il bersaglio viene raffreddato, viene generato un piccolo calore al substrato, anche il rivestimento a temperature inferiori a 100 ℃ è possibile evaporare diverse composizioni di metalli, lasciando evaporare il bersaglio solido rimanente nella sua composizione. I catodi possono essere collocati in qualsiasi posizione (orizzontale, verticale, capovolto), il che rende possibile il design della macchina flessibile.

I principali svantaggi della tecnologia di rivestimento ARC:

Tipo limitato di materiali target - solo metalli (nessun ossido) - che non hanno una temperatura di evaporazione troppo bassa a causa delle densità di corrente elevata Una quantità di materiale target viene espulsa come piccole gocce liquide.